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Single - wafer processes use higher pressures than the batch processes.
单片工艺比多片工艺要用较高的压力.
辞典例句
Single wafer silicon epitaxial CVD equipment has very good thickness a nd resistivity uniformity.
使用单片式外延炉生产的硅外延材料具有良好的厚度和电阻率均匀性.
互联网
单大圆片???
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