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The average illuminance over the reference surface at the end of the complete maintenance cycle.
灯具在维护周期末期在参考表面上的平均照度.
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Surface Texture - Variations found on the real surface of the wafer that deviate from the reference surface.
表面纹理 - 晶圆片实际面与参考面的差异情况.
参比面???
参考面???
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