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Thus , electro - optical modulation is one of the effective technologies to improve the ali.
结果表明, 使用电光调制技术可有效提高投影光刻的对准精度.
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光调制???按照一定规律改变光波的强度、相位、振幅、频率或偏振状态等参数的方法。???
光调制???
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